收入端延续高速增长态势，非经常损益导致2022Q1板块盈利出现波动。我们选取10家半导体设备行业重点标的【北方华创】【中微公司】【盛美上海】【长川科技】【华峰测控】【拓荆科技-U】【芯源微】【至纯科技】【精测电子】【万业企业】。1）整体来看，2021年和2022Q1十家半导体设备企业合计实现营收237.62亿元、57.76亿元，分别同比+51.27%、+40.04%，延续较高增长态势；整体归母净利润分别为40.08亿元、6.19亿元，分别同比+69.39%、-5.14%，其中2022Q1出现一定波动，主要系部分企业因非经常损益影响净利润出现较大下滑；2）盈利端，2021年和2022Q1整体销售净利率分别为17.16%、11.60%，分别同比+1.80pct、-4.21pct，2021年盈利水平略有提升，2022Q1盈利水平出现一定下滑，进一步分析：①毛利端，2021年和2022Q1整体毛利率分别同比+2.23pct、+2.01pct，呈现上升的趋势；②费用端，2021年和2022Q1整体期间费用率分别同比-0.71pct、-0.89pct，呈现下降趋势，主要系收入持续扩大带来的规模效应所致。3）此外，2022Q1十家半导体设备企业合计存货&合同负债达到201.45亿元、96.14亿元，继续创历史新高，分别同比+59.
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