主要观点:

  全球前道设备市场增速放缓,大陆市场成长性强劲

  半导体咨询机构SEMI报告预测半导体制造设备全球总销售额预计在2022年再次突破记录达到1175亿美元,同比2021的1025亿美元增长14.7%,全球半导体设备作为一个具有显著的周期性特点的行业,实现罕见的连续四年的快速增长。而自2022年末以来随着上游晶圆厂扩产周期收缓,下游消费需求放缓,受到台积电等fab缩减资本开支影响,2023年全球设备市场将随着晶圆厂扩产的周期同步波动,增速放缓。从国内市场而言,供应链结构合理化和地缘政治的需求,带来了国内设备市场国产替代的动能。

  芯片工艺制程不断推进,多重曝光技术带来新需求

  芯片生产制造产线的精细化,随着工艺制程的不断推进,14nm更先进制程需要EUV光刻机进行制备,但在先进制程设备采购受限的背景下,先进制程扩产需要较成熟型号的光刻机配合多重曝光技术重复“涂胶-光刻-显影-刻蚀”等工艺流程以做到更小线宽。通过多重曝光配合DUV光刻机所需的工序步骤,时间大幅增加,同时对精度要求极高。因此,刻蚀,沉积,涂胶显影等设备因为工艺的因素得以在14nm制程产线中得?
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