硅料生产设备
改良西门子法是当前生产多晶硅的主要工艺，多晶硅还原炉是还原工序的核心生产设备。多晶硅产线设备投资额在过去五年基本保持持续下降态势，生产综合电耗随着装备技术水平、系统能力、以及生产规模的提升而不断下降
硅片生产设备
光伏硅片的生产主要可以分为拉棒与切片两大工序流程，拉棒主要指通过将经过清洗后的多晶硅料投入单晶生长炉生长出单晶硅棒，切片环节主要指单晶硅棒经过截断、开方、磨削、切片、清洗分选检测后得到单晶硅片
电池片生产设备
HJT光伏电池的核心生产步骤有清洗制绒、非晶硅薄膜沉淀、TCO薄膜沉积以及电极金属化，其中，非晶硅沉淀与TCO薄膜沉积是主要环节，其设备价值占比合计超过70%。TOPCon光伏电池的主要生产设备有清洗制绒设备、扩散炉、多晶硅薄膜沉积设备、丝网印刷设备等，其中，多晶硅薄膜沉积设备是最核心的生产设备
组件生产设备
光伏组件生产设备主要有串焊机、层压机、激光划片机、EL测试仪，IV测试仪、装框机、打胶机、上下载机械手等，目前中国组件生产设备已经全部实现国产化。
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