半导体制造工序繁多,涉及大量设备。由于半导体产品加工工序多,所以在制造过程中需要大量的半导体设备和材料。半导体产品的加工过程主要包括晶圆制造(前道,Front-End)和封装(后道,Back-End)测试,随着先进封装技术的渗透,出现介于晶圆制造和封装之间的加工环节,称为中道(Middle-End)。半导体设备投资中,晶圆处理设备占比最大,根据 SEMI 预计,2018 年晶圆处理设备投资额占整体设备投资比例达81%。
圆处理线可以分成 7 个独立的生产区域。扩散(Thermal Process)、光刻(Photolithography)、刻蚀(Etch)、离子注入(IonImplant)、薄膜生长(Dielectric Deposition)、抛光(CMP)、金属化(Metalization)。7 个主要生产区的相关步骤以及测量等都是在晶圆洁净厂房进行的。在生产区都放臵有若干种半导体设备,满足不同的需要。
声明:本站所有报告及文章,如无特殊说明或标注,均为本站用户发布。任何个人或组织,在未征得本站同意时,禁止复制、盗用、采集、发布本站内容到任何网站、书籍等各类媒体平台。如若本站内容侵犯了原著者的合法权益,可联系我们进行处理。